不锈钢真空波纹管简介

不锈钢真空波纹管是一种用于真空或低压环境中的柔性连接元件，由多层奥氏体不锈钢（如304、316L）薄板通过液压或滚压成型制成波纹状结构。其功能是补偿管路系统的热胀冷缩、振动及安装偏差，同时保持高真空密封性。

特性

1.高真空密封性

采用氦质谱检漏技术，漏率可达≤1×10⁻⁸Pa·m³/s，满足超高真空系统（10⁻⁶~10⁻⁹Pa）要求。

2.耐腐蚀与耐温性

316L不锈钢材质可耐受酸碱介质，工作温度范围广（-200℃~+450℃），适用于半导体、航天等严苛环境。

3.柔性补偿能力

波纹结构可轴向压缩/拉伸（位移量可达管体长度30%），并承受径向与角向偏转，有效吸收机械应力。

关键技术参数

-层数与承压：单层承压≤0.1MPa，多层（2~6层）设计可提升至1.0MPa以上，真空侧需防层间串气。

-疲劳寿命：动态使用下（如泵阀连接）寿命≥10,000次，静态安装寿命超10年。

-连接方式：标准法兰（ISO-KF、CF）、焊接或螺纹接口，确保与系统兼容。

典型应用场景

-半导体制造：连接真空腔室、干泵与阀门，维持工艺气体纯净度。

-航天推进系统：输送低温推进剂（液氢/液氧），补偿热变形。

-粒子：桥接超高真空管道，减少振动传导。